Mehaničke, hibridne i magnetne levitirajuće pumpe visokog vakuuma
Turbomolekularne vakuum pumpe Leybold se koriste u aplikacijama koje zahtijevaju čist visok ili ultra-visok vakuum, na primer u istraživanju i razvoju nuklearne fuzije, ili u industrijskim poljima kao što je industrija premaza i u analitičkoj instrumentaciji.
U principu, turbomolekularna vakuum pumpa je turbina koja se brzo rotira u kućištu gde su stepeni turbine opremljeni sa određenim brojem lopatica rotora. Između rotirajućih lopatica rotora nalaze se stacionarni diskovi statora sa lopaticama raspoređenim u suprotnom smeru.
Pomoću prenosa momenta sa rotirajućih lopatica rotora na molekule gasa, molekuli gasa u početku neusmereno toplotno kretanje se mijenjaju u usmereno kretanje od ulazne prirubnice vakuum pumpe u aksijalnom pravcu ka prednjoj vakuum prirubnici.
U opsegu molekularnog protoka (tj. pri pritiscima ispod 10⁻³ mbar (0,75 × 10⁻³ Torr)) srednja slobodna putanja molekula gasa je veća od razmaka između rotora i lopatica statora (obično nekoliko desetina milimetra). Shodno tome, molekuli se uglavnom sudaraju sa optički gustim lopaticama rotora, što rezultira visoko efikasnim delovanjem pumpanja. U opsegu laminarnog (konstantnog) protoka (tj. pri pritiscima preko 10⁻¹ mbar (0,75 × 10⁻¹ Torr)) efekat rotora je narušen čestim sudarima između samih molekula.
Iz tog razloga, turbomolekularna pumpa nije sposobna da pumpa gasove pod atmosferskim pritiskom.
Primjene
- Istraživanje i razvoj nuklearne fuzije
- Industrija premaza
- Analitička instrumentacija
- Poluprovodnici i elektronika
- Sistemi visokog i ultravisokog vakuuma
